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醋酸正丁酯NBAC
CAS NO 123-86-4 主要用途为晶边清洗液配方以及显影。
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环己酮ANONE
CAS NO108-94-1 光阻助溶剂用途。
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醋酸丙二醇甲醚酯PGMEA
CAS NO108-65-6 主要用途为晶边清洗液以及其他晶边清洗液配方成分及光阻助溶剂用途。
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丙二醇甲醚 PGME
CAS NO 107-98-2 主要用途为和 PGMEA 调和后作为光阻稀释液及清洗液，也可单独使用于光阻管路清洗。
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共4条
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