光热转换LTHC 涂层LTHC INK, 18 kg

产品亮点

使用激光激发胶材与玻璃载体界面能在无应力与室温下分离

用激光解键合时可以使玻璃和晶圆正面在常温下无应力的轻松分离

与常用半导体试剂均兼容

无残留剥离

用作晶圆支撑系统的一部分

产品详情

光热转换LTHC涂层为溶剂型、旋涂式油墨涂层。为WSS晶圆临时键合和解键合方案专用的玻璃释放涂层。

临时黏合和剥离过程中的光热转换

A. 半导体晶圆

B. UV-固化胶LC-3200

C. 光热转换涂层（LTHC）

D. 玻璃载体

光热转换涂层（LTHC）提高了半导体晶圆加工的效率。它在玻璃载体和黏合剂之间形成一涂层，在激光照射期间将光转化为热——这有助于降低剥离所需的激光强度。这种光热转换还可以在室温下以极小的力实现干净的黏合剂解离，保持玻璃载体的完整性，以便重复使用和回收。